簡要概述：
ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。
該儀器以大規模集成電路為主要核心；用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
性能特點：
Ø 采用大規模集成電路作為儀器的主要部分，測量準確穩定，低功耗；
Ø 以大屏幕LCD顯示讀數，直觀清晰；
Ø 采用單個電池供電，帶電池欠壓指示；
Ø 體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
Ø 特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
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Ø 探頭帶抗靜電模塊
技術指標：
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測量范圍 |
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：
1. 方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；
2. 方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□； |
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恒流源 |
測量過程誤差：≤±0.8% |
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模數轉換器 |
量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數點同步顯示； |
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測量不確定度 |
在整個量程范圍內，測量不確定度≤5% |
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四探針探頭規格 |
間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ |
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電源 |
9V疊層電池1節 |
ST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規格：
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型號
(Model) |
曲率半徑
(Radius) |
壓力
(loads) |
探針間距
(spacing) |
探針排列
(Arrangement) |
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HP-501 |
0.5mm |
100g |
3.8mm |
直線 |
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HP-502 |
0.75mm |
100g |
3.8mm |
直線 |
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HP-503 |
0.1mm |
150g |
1mm |
直線 |
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HP-504 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
直線 |
ST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規格：
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型號
(Model) |
曲率半徑
(Radius) |
壓力
(loads) |
探針間距
(spacing) |
探針排列
(Arrangement) |
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SP-601 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
方形 |
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