Agilent B1500A 半導體器件分析儀是一款真正意義上的參數分析儀
Ø 嵌入式 Windows 7 和功能強大的 EasyEXPERT 軟件借助先進的圖形用戶界面(GUI),可讓您執行高效、深入、數據可恢復的器件表征。
Ø 這款*佳表征解決方案可對器件、材料、半導體、有源/無源元件以及任意電氣器件進行各種電氣表征和評測。
Ø 根據您的測試需求,模塊化結構可升級至 10 插槽配置。
**的測量能力和極高的測量可靠性
Ø Agilent B1500A 針對基礎和**器件表征提供以下功能。
測量功能
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主要技術指標/特性
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測量模塊
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電流/電壓(IV)測量
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電源和測量范圍高達 200 V/1 A
*低測量分辨率為 0.1 fA / 0.5 µV
針對基礎和** IV 測量提供點測量、掃描測量等功能
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B1511B /B1511B /B1511B SMU(電源/測量單元)
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準靜態 CV(QS-CV)
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**的準靜態電容-電壓(QS-CV)測量,具有泄露電流補償
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采樣測量
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采樣(時域)測量間隔為 100 µs
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B1510A/B1511A/B1517A SMU(電源/測量單元)
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脈沖測量
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低至 500 µs
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在 500 µs 脈寬、2 μs 分辨率的條件下執行脈沖測量
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低至 100 ns
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適用于脈沖 IV 和瞬時 IV 的超快速 IV 測量功能,例如 NBTI/PBTI、RTN(隨機電報信號噪聲)等
脈沖測量,脈寬為 50 μs
電源和測量范圍高達 30 V / 1 A(0.1 A 直流)
支持示波器視圖
利用 10 ns 編程分辨率生成波形
同時執行高速 IV 測量(200 MSa/s,采樣率為 5 ns)
10V 峰峰值輸出
利用動態 SMU 技術,負載線不會影響脈沖 IV 測量的精度
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B1514A 50 µs 脈沖 MCSMU
(中等電流電源/測量單元)
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低至 10 ns
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適用于高 k/SOI 脈沖 IV 的表征解決方案
選**沖寬度是 10 ns 至 1 µs,上升和下降時間*小值為 2 ns
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B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數測試解決方案
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脈沖生成
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高壓輸出可達±40 V,適用于非易失存儲器測試
為單通道提供二電平和三電平脈沖
利用 10 ns 分辨率靈活地生成任意波形(任意線性波形生成功能)
每個模塊具有兩個通道
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B1525A HV-SPGU(高電壓半導體脈沖發生器單元)
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交流阻抗(CV)測量
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交流阻抗測量(C-V、C-f、C-t)
頻率范圍 1 kHz 至 5 MHz
SMU 提供 25 V 內置直流偏置和 100 V 直流偏置
SCUU 能夠快捷、**地改變 IV 和 CV 自動連接
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B1520A MFCMU(多頻率電容測量單元)
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在研發的各個階段中(從探測到自動化)實現高效、數據可恢復的器件表征
Ø EasyEXPERT 軟件在嵌入式 Windows 7 中運行
Ø 數百種測量程序庫在需要時即可使用(應用測試)
Ø -15 英寸觸摸屏支持您在器件表征時采取直觀的操作、分析與探測
Ø 自動數據記錄特性支持測試數據和測試條件的恢復,可使您輕松地進行探測
Ø 利用曲線追蹤(旋鈕操作)和自動記錄特性來實現實時交互表征
Ø -EasyEXPERT 的曲線追蹤儀測試模式通過旋鈕來控制可變掃描,與傳統的曲線追蹤儀類似
Ø -示波器視圖能夠顯示施加到器件中的電壓和電流波形,從而幫助用戶優化測試條件、觀察器件的瞬時現象
Ø 利用便捷的在線/離線測試環境完成測試開發與分析,從而*大限度地發揮儀器效用
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