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RTS-1345自動四探針測試系統

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產品名稱: RTS-1345自動四探針測試系統
產品型號: RTS-1345 說明書 參數 上海價格
產品展商:其它品牌
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簡單介紹

RTS-1345自動四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器;歡迎選購RTS-1345自動四探針測試系統。

RTS-1345自動四探針測試系統的詳細介紹

主要特色:

可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試;

屏蔽測試,完全消除光線對樣品測試的影響,保證測量的準確性;

吸附測試,完全消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響;

可不連接電腦使用進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏;

RTS-1345型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
  
 測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析

 

技術參數:

 測量范圍

 電阻率:0.00012000Ω.cm(可擴展)  
 
方塊電阻:0.00120000Ω/□(可擴展)
 
 
電導率:0.000510000 s/cm 
 
電阻:0.00012000Ω.cm 

可測晶片直徑

 Φ=200mm

恒流源

 電流量程分為0.1mA1mA10mA100mA四檔,各檔電流連續可調

數字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV
 
分辨力:10μV
 
輸入阻抗:>1000MΩ
 
精度:±0.1%
 
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標

 間距:1±0.01mm
 
針間絕緣電阻:≥1000MΩ
 
 
機械游移率:≤0.3%
 
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm
 
探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應用參數

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
(
JJG508-87進行)

 0.1Ω10Ω100Ω小于等于0.3%±1

整機測量*大相對誤差

(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

測試模式

連接電腦使用可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試,不連接電腦情況下可進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏。

消除測試過程中影響因素

屏蔽和吸附測試,完全消除光線和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響,保證測量的準確性。

標準使用環境

 溫度:23±2℃
 
相對濕度:≤65%
 
無高頻干擾;
 
無強光直射;

 

 

 

 

主要銷售:LCR測試儀,,信號發生器,數字存儲示波器,絕緣電阻測試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測試儀直流電阻測試儀數字電橋等等測量儀器,測試儀器,工具等。(點擊關鍵詞可進入相關產品目錄)扭力測試儀瓶蓋扭力測試儀數字電橋,扭力扳手

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