简要概述：
ST-21型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
性能特点：
Ø 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；
Ø 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；
Ø 采用单个电池供电，带电池欠压指示；
Ø 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
Ø 特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
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Ø 探头带抗静电模块
技术指标：
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测量范围 |
按方块电阻量值大小分为二个量程档：
1. 方块电阻 1.00～199.99Ω/□；
2. 方块电阻 10.0～1999.9Ω/□； |
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恒流源 |
测量过程误差：≤±0.8% |
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模数转换器 |
量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示； |
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测量不确定度 |
在整个量程范围内，测量不确定度≤5% |
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四探针探头规格 |
间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ |
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电源 |
9V叠层电池1节 |
ST-21方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：
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型号
(Model) |
曲率半径
(Radius) |
压力
(loads) |
探针间距
(spacing) |
探针排列
(Arrangement) |
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HP-501 |
0.5mm |
100g |
3.8mm |
直线 |
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HP-502 |
0.75mm |
100g |
3.8mm |
直线 |
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HP-503 |
0.1mm |
150g |
1mm |
直线 |
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HP-504 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
直线 |
ST-21方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：
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型号
(Model) |
曲率半径
(Radius) |
压力
(loads) |
探针间距
(spacing) |
探针排列
(Arrangement) |
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SP-601 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
方形 |
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